杜邦Ambertec UP6150抛光树脂更换案例1：半导体超纯水终端抛光混床UP6150更换（树脂失效导致电阻率下降）

 

杜邦Ambertec UP6150抛光树脂更换案例1：半导体超纯水终端抛光混床UP6150更换（树脂失效导致电阻率下降）

某半导体企业超纯水系统，终端抛光混床采用杜邦Ambertec UP6150抛光树脂，运行12个月，出现产水电阻率从18.2MΩ·cm降至12MΩ·cm，TOC含量升至8ppb，无法满足晶圆制造用水要求（电阻率≥18MΩ·cm、TOC≤5ppb），经检测，UP6150树脂交换容量下降至初始值的40%，树脂污染严重，需进行更换。更换流程：先停机排空混床内树脂，用超纯水冲洗混床内壁，去除残留树脂粉末与杂质；按“阳树脂:阴树脂=1:2”的比例（UP6150为混床专用均粒树脂，无需单独分层），将新树脂缓慢装入混床，避免树脂分层、破损；装入后，用超纯水反洗（流量5-8m³/h），去除树脂中的气泡与杂质，反洗至出水清澈；再进行正洗，正洗至产水电阻率≥18MΩ·cm、TOC≤5ppb，即可投入运行。更换后，系统产水电阻率稳定在18.2-18.3MΩ·cm，TOC≤4ppb，满足半导体超纯水要求，同时优化树脂再生周期，延长树脂使用寿命。核心要点：超纯水终端抛光混床更换树脂后，需严格控制冲洗流程，避免树脂粉末污染后续管路，影响产水纯度。